MEMS発振器

微小電気機械システム (MEMS) 発振器は、半導体製造プロセスを使用して構築された電気機械共振構造を含む発振器の一種です。これらのデバイスは、静電力または圧電力によって振動できる固有の共振周波数を持つ機械構造を利用することで、水晶発振器と同様に動作します。MEMS構造は水晶よりもはるかに小さくできるため、より高い共振周波数が可能になります。 ただし、MEMS発振器には、プロセス変動を補正するためのサポート回路が必要です。MEMS処理技術が進歩するにつれて、このクラスの発振器の性能と価格は向上し続けるはずです。